光解催化设备紫外光催化技术对于某些有机化合物的部分化学键键能高于所提供的UV光子能量，如甲醛的“C=O”键的键能为728kj/mol。目前我们所提供的UV光子的能量为 704kj/mol（正在研发742kj/mol和800kj/mol）。甲醛在170nm的UV紫外光的照射下，会裂解生成游离态的[C=O]*、 H*。一部分[C=O]*与03反应生成CO2，一部分[C=O]*在经过与N2等惰性物质碰撞后失去能量，生成CO，臭氧量充足时可将部分CO氧化成CO2 。
如果提供的UV紫外线波长为160nm（742kj/mol），则反应过程相对就更加简单一些：甲醛会被直接裂解成游离态的C*、H*，会被O3直接氧化成CO2和H2O。
以上可见，不同波段的UV紫外线对于同一种物质的光解反应可以是不一样的，UV紫外线的波长越短，即UV光子能量越高，物质的光解反应就越容易，反之越难，甚至没有任何效果。
UV光氧催化废气治理设备中对有机挥发性废气首要进行光解与催化氧化。光解首要是通过高能UV紫外线对空气中的氧气产生分化作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态，因而游离态氧极易与氧分子结合生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进有机挥发性废气的分化。在UV高效设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发生的光子具有很高的能量，高能量的光子能可以迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。来达到废气净化的目的。
UV光氧废气处理设备工作原理：
当废气进入UV光氧废气处理设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。) 废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能高效率地照射，瞬间产生光解反应，打开废气和臭味污染物分子的化学键，破坏其分子结构和核酸；利用高能紫外光波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，使呈游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物。如CO2、H2O 等。 UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)
半导体的能带结构通常是由一个充满电子的低能价带和一个空的高能价带构成，它们之间的区域称为禁带。禁带是一个不连续区域。当能量大于或等于半导体带隙能的光波辐射此半导体催化剂时，处于价带的电子(e)就会被激发到导带上，价带生成空穴(h+)，从而在半导体表面产生具有高度活性的空穴/电子对。
TiO2 的带隙能为 3.2ev，相当于波长为 387.5nm光子的能量，当TiO2 受到波长小于387.5nm的紫外光照射时，处于价带的电子就会被激发到导带上去，从而分别在价带和导带上产生高活性的光生空穴和光生电子。在电场的作用下，电子与空穴发生分离，迁移到粒子表面的不同位置。热力学理论表明，分布在TiO2表面的空穴可以将吸附在其表面的OH-和H2O分子氧化成OH。而电子(e-)具有很强的还原性，可使得TiO2固体表面的电子受体如O2 被还原。O2 既可以抑制光催化剂上电子和空穴的复合，提高反应效率，同时也是氧化剂，可以氧化已经羟化的反应产物，是表面羟基自由基的另一个来源。缔合在Ti4+表面的OH的氧化能力极强，能够氧化大部分的有机污染物及部分无机污染物，将其终降解为CO2、H2O等无害物质，并且对反应物几乎无选择性，因而在光催化氧化中起着决定性的作用。