光催化氧化法：光氧催化废气处理设备的技术是利用特种紫外线波段（C波段），在特种催化氧化剂的作用下，将废气分子破碎并进一步氧化还原的一种特殊处理方式。废气分子先经过特殊波段高能紫外光波破碎有机分子，打断其分子链；同时，通过分解空气中的氧和水，得到高浓度臭氧，臭氧进一步吸收能量，形成氧化性能更高的自由羟基，氧化废气分子。
光氧催化废气处理设备利用高能臭氧UV紫外线光东分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡，所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对紫外线光束照射分解后的有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有良好的消除效果。利用高效能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸( DNA)，再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及灭菌的目的。
有机气体进入到装有特殊频段的高效紫外线灯管的UV高效光解氧化模块的反应腔后，UV光源光谱范围是200nm-450nm,以365nm为中心，高能UV紫外线光束及臭氧对有机气体进行协同分解氧化反应，使异味气体物质降解转化成低分子化合物、水和。未能有效去除的有机废气再经后道活性炭吸附装置吸附，根据项目运行监测情况来看，整套废气净化装置对VOCs的去除效率可达到95%，对臭气浓度的去除率可达到99.4%。
