低温等离子体工业废气处理成套设备和技术是在原电晕放电基础上由高频高压电场通过尖端放电产生的新一代低温等离子体技术具有能量高、电子发射密度高等特点，其净化原理如下：
1、在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
2、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，*后生成无害产物。塑料造粒厂废气净化设备 塑料造粒厂烟气净化方法
3、物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。
4、生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。机理为：等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。
在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，*终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。低温等离子体处理设备的特点：
1、操作方便：低温等离子体设备,操作简单,方便.无需专人看管，如遇故障自动停机报警。
2、能耗低：低温等离子体处理烟气，运行费用低廉，约2～5瓦时/米3。
3、运行环境要求低：在-60℃~+300℃的环境内均可正常运转,特别是在潮湿,甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
4、设备使用寿命长：本设备抗氧化性强，在酸性气体中耐腐蚀。
5、处理气体：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯分解化合物：低分子化合物，CO2、H2O等
特点：体积小，占地面积少，能耗低，操作方便，低碳环保，效率高。
应用领域
适用范围：石油、制药、油漆、印刷、涂料、塑料、电子、食品、橡胶、化工、制药厂、污水处理厂、垃圾转运站、污水处理站、卷烟厂、医院、餐饮、香精香料厂、屠宰场、公共场所等有毒有害污染物气体、恶臭气体的净化处理。