制造商：Ebara
型号：A30W
注：此项目尚未测试。如果没有列出或显示，则不包括手册、电线/电缆或其他项目。
包括：
（1）Ebara A30W真空泵
（1）泵的控制面板和电子设备
（1）真空表管
（1）电源输入电缆
规格：
制造商：Ebara Technologies公司型号：A30W微处理器控制模块式干式真空泵组罗茨式多级真空泵增压泵串联干式氮气吹扫保持泵油不在真空段快接冷却水配件抽速升/分钟cfm）（60/50Hz）极限压力pa（60/50Hz）配件：NW50入口，NW40出口冷却水：>3.5l/m，<30℃功率V/200V 3相60/50Hza