目前存在多种有机废气的处理工艺，如：冷凝法、吸收法、燃烧法、催化法、吸附法、生物法和等离子法等。
冷凝法是根据气态污染物在不同的压力和不同的温度下具有不同的饱和蒸气压，可通过降低温度和加大压力使某些气态污染物凝结成液体，达到净化、回收的目的。冷凝法运行费用较高，适用于高浓度和高沸点VOCs的回收，对于低浓度有机废气此法不适用；单纯的冷凝法往往不能达到规定的分离要求，故此方法常作为吸附、燃烧等净化高浓度废气的预处理过程。
吸收法可分为化学吸收和物理吸收，大部分有机废气不宜采用化学吸收。物理吸收的吸收剂应具有与吸收组分有较高的亲和力，低挥发性，同时还应具有较小的挥发性，吸收液饱和后经解析或精馏后重新使用。本法适合于中高浓度的废气，但要选择一种廉价高效的低挥发性吸收液比较困难，需要同时考虑的因素包括溶解度、选择性、挥发性、粘度、燃点、再生性及毒性等等，同时二次污染问题较难解决，净化效果不理想，也常作为废气治理过程中的预处理过程，同时可起到冷却降温、预除尘的作用。
燃烧法亦称为热氧化法、热力燃烧法，主要用于高浓度VOCs废气的净化。对于自身不能燃烧的中低浓度尾气，通常需助燃剂或加热，能耗大，运行成本比催化燃烧法高10倍以上；运行技术要求高，不易控制与掌握。此法在国内基本上未获推广，仅有少数厂家引进国外治理设备应用于较高浓度和温度的制罐印铁业废气治理中，但终因能耗大及运行不稳定，难以正常运转。
催化法的优点是催化燃烧为无焰燃烧，安全性好，本法的特点：起燃温度低，节约能源；净化率高，无二次污染；工艺简单，操作方便，安全性好；装置体积小，占地面积少；设备的维修与折旧费较低。该法适用于高温、中高浓度的有机废气治理，国内外已有广泛使用的经验，效果良好。
吸附法有一次性吸附、吸附-回收、吸附-催化燃烧等多种类型。活性炭吸附去除效率高，但一次性活性炭法要求经常更换活性炭以保证净化效果，导致装卸、运输等过程中造成二次污染。吸附-回收法适用于对中、高浓度，中、小风量，有回收价值的废气进行治理，但若有机气体成份复杂，回收后不能直接用于生产，需要再进行精馏、萃取、分离等后继工作，不但造成二次污染，而且大大增加了治理成本。
生物法是基于成熟的生物处理污水技术上发展起来，具有能耗低、运行费用低的特点，在国外有一定规模的应用。其缺点在于污染物在传质和消解过程中需要有足够的停留时间，从而增大了设备的占地，同时由于微生物具有一定的耐冲击负荷限值，增加了整个处理系统在启停时的控制以及运行负荷。该法目前在国内污水站废气治理中有少量应用，对工业废气异味治理的应用很少。
利用等离子Plasma（ULAND等离子体）降解有机废气和、祛除恶臭、杀灭细菌、病毒、净化空气是国际上比较尖端的高新技术，国内外专家称之为21世纪环境科学四大技术之一。该技术的关键是通过高压脉冲介质阻挡放电的形式产生大量活性等离子体（等离子体），将气体激活，产生各种活性自由基，如·OH、·HO2、·O等，对苯、甲苯、二甲苯、氨气、烷烃类等有机废气发生降解、氧化等复杂的物理和化学反应，且副产物无毒，避免二次污染。该技术具有能耗极低，占地空间小，运行维护简单等特点，特别是适用于多种组分有机气体的处理。
