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有专利技术利用化学净化、吸附以及精馏的集成工艺脱除尾气中杂质后得到高纯N2O产品。其中化学净化过程利用碱液脱除尾气中的酸性气体( CO2、NO2 ) ，吸附单元利用分子筛物理吸附脱除C2H2、NO、CO、H2O等杂质，最后利用精馏单元脱除其他相对挥发度大的组分后在塔底得到产品，产品纯度可以达到 6N。也有专利技术首先利用干燥、吸附单元脱除尾气中水分和重组分杂质，然后利用精馏的方法分离脱除其他杂质，在塔底得到产品，产品纯度高可达到 6N。
空气产品公司的专利技术报道了适用于处理杂质组分较简单的含N2O尾气的回收技术。还有专利报道了利用两级精馏过程完成尾气 中N2O的回收纯化，通过脱轻、脱重两级精馏工艺，在脱轻塔底得到纯度达到5N的N2O产品，这种工艺对设计及操作条件的要求相对严格，并且其中相 近沸点杂质组分的存在会对最终产品纯度有所影响。