光氧催化工业废气处理设备主要利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气。使有机或无机高分子恶臭化合物的分子链在高能紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物。工业废气处理设备利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子及水分子产生游离氧（活性氧）和OH自由基，因游离氧和所携正负电子不平衡 所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+臭氧），众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。
光氧催化废气处理设备可适应高浓度、大气量、不同工业废气的脱臭、净化处理。可每天24小时连续工作，运行稳定可靠。光氧催化废气处理无任何机械动作，无噪声、无需专人管理和日常维护，只需作定期检查，本设备能耗低。