气体动态配比装置采用全新传感生产工艺的高精度热式气体质量流量控制器等高品质的国产或进口的组件,结合工控液晶触摸屏幕,图形化视图,让系统运行更稳定、操作更简便;流量控制部分采用PID闭环控制技术,响应速度快,流量控制稳定、精准;系统中管路接触部分的材质全部为BA级316L不锈钢,无易损件,经久耐用,后期设备维护成本极低。主要是用于以空气或氮气为稀释气体的多种气体的动态配比,装置经过防腐蚀性和防吸附性处理,除开常规惰性气体的浓度比例配比和调节以外,也适用于腐蚀性和有毒气体的浓度动态配比。
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