工艺流程：集气→预处理→活性炭吸附+水蒸汽脱附、活性炭再生→冷凝回收
利用微孔活性物质对溶剂分子或分子团的吸附力，当废气通过吸附介质时，其中的有机溶剂即被阻留下来，从而使有机废气得到净化处理。当吸附体吸附饱和后，又根据分子热运动理论，从外界加给吸附体系热能，提高被吸附分子或分子团的热运动能量，当分子热运动足以克服吸附力时，有机溶剂分子便从吸附体系中脱出来，从而使吸附介质得到再生。
将VOCs在200～400℃的低温条件下分解为CO2和H2O，是净化碳氢化合物等有机废气、消除恶臭的有效手段之一。在有机废气处理特别是回收价值不大的有机废气净化方面，比如化工、喷漆、绝缘材料、漆包线、涂料生产等行业应用较广。