氩气热式气体质量流量控制器传感器阀门在一般情况下，质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm（毫升/分钟）和slm（升/分钟）表示；s代表stand，指标准状况下；cc指毫升；l指升，m代表minute，指分钟。其实这就意味着，流量控制器在不同的使用条件下，指示的流量全都是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg)； 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。
而对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑也便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min或者g/h）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。
