真空泵的排气端安装了物料回收装置，可以有效回收溶媒以及其他可以回收的物质。如果回收装置安装和操作不正确会影响真空泵的正常使用甚至损坏。一般的物料回收装置都有冷凝功能，物料温度较低，在螺杆真空泵停泵以后泵体内温度还比较高，如果低温的回收物料倒流进入泵体容易导致转子温度骤降引起真空泵损坏。如果回收物料有冷凝性质，倒流回泵以后常温下在泵内凝固会导致下次启动困难甚至无法启动。
避免物料回流的措施并不复杂，一是确保回收物料要低于真空泵排气口，即便真空泵停泵发生倒吸但吸入的是气体而不是物料；二是采取隔离措施，在停泵前打开螺杆真空泵进气阀、关闭泵与回收装置之间的阀门进行隔离。如果真空泵有自动吹扫功能，系统会自动处理。
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