六甲基二硅氮烷
简 称 HMDS
别 名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分子量 161.39
CAS号 999-97-3
EINECS 213-668-5
密 度 0.770—0.780
折光率 1.408±0.002
闪 点 27℃
沸 点 126℃
色 度 ≤10
性 状 无色透明液体、略带胺味
溶解性 溶于有机溶剂
用 途：
1.特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
2.为阿米卡星药用中间体，是羟基及氨基保护剂
3.用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。
4.碱性硅烷化保护剂，无机填料处理剂