采取直流方法供给电能的真空泵称为直流无油真空泵。直流真空泵有5V，12V，24V供电的辨别。5V，12V真空泵或24V的直流真空泵的体积都很小，所以称为无油真空泵.直流供电的利益是罢黜电念头驱动从而降落用电功耗，电耗幽微至以mA(毫安)计，泵内体系集成化，采取弱电主动把持体系，能让真空泵完全罢黜人工操控，达到更加智能的后果。
微型直流真空泵重要是利用电机的圆周活动，通过机械装置使泵内部的隔阂做往复式活动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行紧缩、拉伸形成真空(负压)，在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入泵腔，再从排气口排出。
无油真空泵对气密性等有很高的请求，个别在10^-7PaM^3/S(10的负7次方帕破方米每秒)均可满意客户对气密性请求利用：如实验室常见气体的剖析、轮回、考试等。无油真空泵采取无刷电机适应交变载荷，寿命有的可高达上千小时(满负荷，24小时不间断测试)，如间断利用，寿命可长达至5000-8000小时左右。
无油真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单极突破0.1pa极限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。