将有机废气直接引入催化燃烧装置，在开始阶段需要通过电加热器将其温度升高至反应所需要的温度，废气在催化剂作用下发生氧化放热反应生成无害的H2O和CO2，分解后释放出的热量通过热交换器加热进入催化床的有机废气，当有机废气的浓度达到一定浓度时，放热和热交换所需要热量达到平衡，无需电加热，通过自身的平衡处理掉高浓度气体。
催化燃烧借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度(200~400℃)条件下发生无焰燃烧，实现对有机物的完全氧化，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热。因此，能耗少，操作简便，安全，净化效率高。催化燃烧可以处理所有的烃类有机废气及恶臭气体。对于有机化工、涂料、绝缘材料等行业排放的低浓度、多成分、无回收价值的废气，采用吸附催化燃烧法的处理效果比较好。用催化燃烧法处理有机废气的净化率一般都在98%以上，且由于燃烧温度低，能大量减少NOX的生成，因此不会造成二次污染。