首先是关闭无油螺杆真空泵的进气口阀门，并打开排气阀门；然后通过蒸汽入口（珂勒曦无油螺杆真空泵的蒸汽吹扫入口设置在进气口处），通入表压1Kg/cm2左右的蒸汽并根据介质的实际情况持续1～10分钟；蒸汽通入结束后，转动联轴器，看转子的转动是否顺畅；如果真空泵的转动顺畅，就可以结束吹扫过程，并启动电机，看是否运转正常，并在无负载的情况下让真空泵运行10～20分钟，继续排出残留的蒸汽；如果盘动过程不是很顺畅，这时就不要启动电机，继续反复通入蒸气，直至盘动过程变得顺畅，再启动电机进入最后的吹扫过程。
另外，对于一些停机后久未启动过的无油螺杆真空泵，为确保运行安全，必要时也可以在启动前进行蒸气吹扫作业，防止强行启动而出现一些问题。
无油真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单极突破0.1pa极限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。