COMDEL射频电源维修康戴尔高频电源CLX2750
美国COMDEL电源维修常见型号包括:CLX2750;CLX2500;CLX-600H;CX600AS;CX-5000S;CX-3500S;CX-2500S;CV500;CDX2000等。
Comdel成立于1966年,总部设在马萨诸塞州格洛斯特,为半导体,薄膜,光伏,平板和工业加热行业设计和制造射频和直流电源和过程仪器。 产品包括射频发生器,直流发电机,阻抗匹配网络,多通道合成器和静电卡盘电源等。
维修范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息设备(ITE)及轻工业系统、镀膜设备。 从事大功率射频RF电源及匹配器维修,为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP设备电源,包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射频电源维修。
当滤波电容上无380VDC左右电压时,说明PFC电路没有正常工作,PFC模块关键检测脚为电源输入脚VC,启动脚Vstart/control,C/RT脚及V0脚。,测试一板上滤波电容上无380VDC电压。VC,Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常,测量场效应功率开关管无V0波形,由于FA5331(PFC)为贴片元件,机器用久后出现V0端与板之间虚焊,V0信号没有送到场效应管。将V0端与板上焊点焊好,用万用表测量滤波电容有380VDC电压。当Vstart/control端为低电平时,PFC亦不能工作,则要检测其端点与外部相连的有关电路。