数字式质量流量控制仪器:采用毛细管传热温差热法原理检测气体质量流量,传感器受热桥测得的总流量讯号送至放大器调大。将调大后的流量检测电压与设置电压进行较为,并且调大差分信号调节阀。通过通道的闭环控制流使其设置相等的总流量,分流器取决于主通道中的总流量。当所需调节总流量时,就所需这个控制器。如相对于毛细管总流量的检测,在恒压下检测总流量时,采用质量流量计。
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数字式质量流量控制仪器:采用毛细管传热温差热法原理检测气体质量流量,传感器受热桥测得的总流量讯号送至放大器调大。将调大后的流量检测电压与设置电压进行较为,并且调大差分信号调节阀。通过通道的闭环控制流使其设置相等的总流量,分流器取决于主通道中的总流量。当所需调节总流量时,就所需这个控制器。如相对于毛细管总流量的检测,在恒压下检测总流量时,采用质量流量计。
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