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为什么使用氦气作为示踪气体氦质谱检漏法用氦气作为示踪气体，有下面几个主要原因：
氦气在环境空气中含量极少（5ppm），环境本底比较低。
氦气分子很小，并且扩散很快，可以缩短检测器响应泄漏的时间。
氦气容易获取，无毒、不易燃并且属于惰性气体。
氦质谱检漏的基本方法-喷氦法
使用氦质谱检漏仪进行检漏有喷氦法（也叫真空法）、吸枪法等多种方式，对真空设备进行检漏最常用的是喷氦法。
启动检漏仪并把它与被测工件相连，检漏仪对被测工件内部抽真空，此时对待检真空设备外部各位置进行喷氦，当喷氦的位置有泄漏时，氦气就会从漏点进入被测工件从而被检漏仪检测到。