它主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。
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名称 |
规格 |
耐温性 |
应用 |
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PFA花篮 PP Cassette
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2寸 |
-200~260℃ |
酸碱传输制程 |
特点：
1.耐腐蚀：耐受强酸强碱
2.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb
3.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染
