PETER WOLTERS AC microLine 1500 - PETER WOLTERS抛光机AC microLine 1500 产品介绍
LAPMASTER WOLTERS 为需要准确结果的半导体客户提供可靠的晶圆抛光机。他们为晶圆和基板的高精度表面技术提供量身定制的解决方案。例如在 Silicon Prime Wafer 和 LED 市场。硅、蓝宝石、砷化镓、碳化硅等用于制造微电子、微光学和微机械器件的材料。他们适用于各种直径基材的研磨、研磨、机械和化学抛光机可提供准确的工艺结果。LAPMASTER WOLTERS 是硅晶片抛光机的主要供应商，可抛光直径达 450 毫米。
PETER WOLTERS AC microLine 1500 - PETER WOLTERS抛光机AC microLine 1500 性能特点
快速、符合人体工程学的装卸
外摆式上工作盘，以良好方式进入工作区域
用户友好、直观的操作
良好的加工效果和高的精度
运行成本低
个性化流程开发
低维护/友好
PETER WOLTERS AC microLine 1500 - PETER WOLTERS抛光机AC microLine 1500 技术参数
机器尺寸[高×宽×深] [mm]：2510×3560×2900
不含控制柜的机器重量[kg]：8200
~大工件高度[mm]：125
~大工件直径[mm]：500
LFE