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由于超纯氧气的高纯度，它能够在一些需要高精度和高纯度控制的领域得到应用。例如，在半导体生产中，超纯氧气可以用于蚀刻和沉积等关键工艺步骤；在医药制造中，超纯氧气可以用于药品的生产和质量控制；而在实验室研究中，超纯氧气则可以作为实验材料或者反应介质，确保实验结果的准确性和重现性。