科探标准复合分子泵机组：是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
技术参数：
|
控制方式 |
手动控制/自动控制切换 |
|
前级泵接口 |
KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵） |
|
分子泵 |
FF-100/150 51000转/分 |
|
分子泵抽气速率 |
140L/S |
|
分子泵启动时间 |
≤2min |
|
空载极限压强 |
≤1X10-4Pa |
|
真空测量方式 |
冷阴极标准规管 |
|
真空测量范围 |
1E﹢2到1E-5 Pa |
|
真空测量精度 |
1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性： ±5% |
|
抽气接口 |
KF25 |
|
阀门类型 |
KF25手动挡板阀 |
|
系统电源 |
AC220V |
|
系统功率 |
≤1KW |
|
环境温度 |
5~32℃ |
|
冷却方式 |
强制风冷却 |
|
湿度 |
≤80%RH |
|
外形尺寸 |
250 X360 X 300mm （宽-深-高） |
|
重量 |
25KG |
|
随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个 |
