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关于超纯氮的制备方法，有一项发明专利提到一种通过具有至少一个蒸馏塔的空分装置制备超纯氮的方法。具体来说，无氧压缩氮馏份被减压输入到低压塔中，在低压塔中形成上升的蒸汽，并借助于在低压塔顶部用超纯氮进行的回流脱除一氧化碳，然后在低压塔的顶部抽出不含一氧化碳的顶部气体，这部分气体在压力提高后被部分液化，从而得到超纯氮。