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高真空探针台冷热型郑科探

  • 发布时间:2024-07-06 14:53:50
    报价:面议
    地址:河南,郑州,河南大学科技园东区
    公司:郑州市金水区智研实验室设备经营部(个体工商户)

    手机:15136405012
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    用户等级:普通会员已认证

    高真空探针台冷热型郑科探

    真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到400℃,低温部分采用液氮或液氦冷却组件,温度可低至-196℃,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

    高低温真空探针台应用:

    可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

    高真空探针台冷热型的技术参数

    真空腔体

    腔体材质

    304不锈钢

    上盖开启

    铰链侧开

    加热台材质

    304不锈钢

    内腔体尺寸

    φ160x90mm

    观察窗尺寸

    Φ70mm

    加热台尺寸

    φ60mm

    观察窗热台间距

    75mm

    加热台温度

    ﹣196~350℃

    加热台温控误差

    ±1℃

    真空度

    机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

    允许正压

    ≤0.1MPa

    真空抽气口

    KF25真空法兰

    气体进气口

    3mm-6mm卡套接头

    电信号接头

    SMA转BNC X 4

    电学性能

    绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V

    探针数量

    4探针

    探针材质

    钨针

    探针尖

    10μm

    探针移动平台

    X轴移动行程

    30mm ±15mm

    X轴控制精度

    ≤0.01mm

    Y轴移动行程

    13mm ±12.5mm

    Y轴控制精度

    ≤0.01mm

    Z轴移动行程

    13mm ±12.5mm

    Z轴控制精度

    ≤0.01mm

    电子显微镜

    显微镜类别

    物镜

    物镜倍数

    0.7-4.5倍

    工作间距

    90mm

    相机

    sony 高清

    像素

    19201080像素

    图像接口

    VGA

    LED可调光源

    显示屏

    8寸

    放大倍数

    19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

    高真空探针台冷热型郑科探

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