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在机构调研时，混配气主要是作为蚀刻气体，芯片过程中的蚀刻阶段，二氧化硅非常坚硬，氟气的腐蚀性非常强，通过腐蚀痕迹留在芯片上。此外，稀有气体氦氖氪氙气中氙气最贵，特别是航空氙气，纯度越高、价格更高，特别是俄罗斯与乌克兰局势紧张，价格会持续走高。
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