Novec™ 7200工业用化学液
清洁用的化学液Novec ™ 7200的沸点为76°C,其溶解力适用于气相去污、湿式清洁和晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)的净化。此化学液能的低表面张力,可清洁轻型的脏污,像是微颗粒物质、氟素油、少量的油污和氟素高分子。Novec ™ 7200也可以跟其它溶剂搭配,用于清洁重脏污。 Novec ™ 7200不会破坏臭氧层(ODP值=零),且全球暖化潜值低 (GWP=55),大气存留时间短(ALT=0.77年)。且不被列为挥发性有机化合物(volatile organic compound ,VOC)。Novec ™ 7200 是被美国环境保护局认同的显著新替代方案(U.S. EPA's Significant New Alternatives Policy (SNAP) program)。
