台体规格：
尺寸：4英寸/6英寸
水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程：2英寸*3英寸
X-Y移动精度：10微米
样品台Z轴调节：可升降10mm
样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台：左右各一个针座平台，最多可放置6个探针座
背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
外形尺寸：400mm长*380mm宽*500mm高
重量：约20千克
光学系统：
显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率：16X-200X
移动行程：水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm
光源：外置LED无极调节亮度环形光源
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素
定位器：X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
线缆：同轴线/三轴线
漏电精度：10pA/100fA/10fA
固定探针：弹簧固定/管状固定
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
针尖材质：钨钢/铍铜
可选附件
加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件