湿氧恒温柜
用户手册
一、设备简介
1.1型号含义
型号：FHWG-JWG6P
含义：F福雪莱；HWG恒温柜；JW加温；G光电检测液位；6P六个源瓶槽位
1.2柜体结构图
1.3主要功能
1.3.1为机台做工艺提供湿氧（湿氧工艺）
说明：
1、装有一定量超纯水的源瓶水温加热到设定温度并恒温后，炉管方可做工艺；
2、工艺用氧气先通入瓶内水底鼓泡后再进入炉管反应室。（如下图）
1.3.2源瓶加热与恒温
说明：
1、由PLC、温控器、温度探头、固态继电器、发热组件、源瓶液位计等完成控制；
2、源瓶开关打开后(即自动运行)，如瓶内水量达到低液位则加热直到设定温度并恒温；
3、加热异常、恒温异常、温度探头异常、温度异常均报警输出。
1.3.3源管道伴热与恒温
说明：
1、由PLC、温控器、温度探头、固态继电器、伴热带等完成控制；
2、源瓶开关打开后(即自动运行)，如瓶内水量达到低液位则加热直到设定温度并恒温；
3、加热异常、恒温异常、温度探头异常、温度异常均报警输出。
1.3.4源瓶液位监测
说明：
1、每个源瓶均安装有高、低光电液位计（位置可调）；
2、正常使用时液位为低液位至高液位之间；
3、液位低于低液位为异常并报警输出。
1.3.5源瓶压力监测及保护
说明：
1、每个源瓶均安装有泄压阀及压力传感器；
2、当源瓶内压力≥设定压力时，自动打开泄压阀泄压；
3、当源瓶内压力持续≥设定压力时，压力异常报警输出。
1.3.6源瓶定时换水
说明：
1、每个源瓶内的水都可以通过设定时间周期性换水；
2、换水时需要满足条件：自动运行+定时时间已到+工艺刚结束；
3、换水时需要先将瓶内原水排干，利用氮气加快地排水及吹扫；
4、源瓶排水的同时打开超纯水过水阀进行水质检测；
5、每次换完水自动重新计时；
6、水质检测合格后，方可往源瓶灌水。
1.3.7源瓶漏水监测
说明：
1、柜内源瓶分两层放置，每层3个，每层一个接水盘，上下接水盘串接后引管到蓄水池；
2、接水盘管道上安装非接触式液位计；
3、当源瓶漏水或爆裂时，水会流到接水盘顺着管道流到蓄水池，液位计感应到信号后发出报警。
1.3.8超纯水水质检测
说明：
1、源瓶每次灌水时（包括手动操作）都需要xian进行水质检测，合格之后才可以往源瓶内灌水；
2、水质检测可以自动也可以手动，每过水5min后检测一次，如合格则不再进行过水检测；
3、如水质连续三次检测不合格，发出水质异常报警，需要人工确认复位。
1.3.9超纯水缺乏监测
说明：
1、超纯水管道进入柜内后分两路走：一路去到源瓶的补水阀（源瓶灌水）；一路经过水阀后接到蓄水池（水质检测过水）；
2、过水阀前面管道上安装非接触式液位计；
3、当超纯水缺乏时，液位计感应到信号后发出报警。
1.3.10废水收集与外排
说明：
1、源瓶换水时原水排放需要容器收容（蓄水池）；
2、超纯水水质检测每次过水5min，需要容器收容（蓄水池）；
3、蓄水池上安装电极式液位计及排水泵；
4、当蓄水池液位上升到高液位时启动排水泵外排废水，排水泵也可以手动控制；
1.3.11异常、故障报警
说明：
1、当设备发生任何异常或故障时均发出报警；
2、报警的方式：a、蜂鸣器；b、显示屏；c、传上位机；
1.3.12与机台信号对接
说明：
1、1～6#管工艺状态信号，继电器常开触点，用于判断是否在工艺；
2、1～6#管不工艺状态信号，继电器常开触点，用于判断工艺是否结束；
3、1～6#源瓶换水请求信号，继电器常开触点，直到换水完成，用于告知机台源瓶在换水；
4、水质合格信号，继电器常开触点，直到换水完成，用于告知机台此次换水水质检测合格；
5、1～6#源瓶恒温就绪信号，继电器常开触点，用于告知机台换水完成且加热恒温可以开始做工艺；
6、1～6#源瓶温度异常信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶温度波动异常；
7、1～6#源瓶高液位信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶出现高液位；
8、1～6#源瓶低液位信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶出现低液位；
9、源瓶漏水信号，继电器常闭触点，用于告知机台柜内有源瓶漏水；
1.4使用环境
1、地面平整，通风良好；
2、周围无强烈振动；
3、周围无强电磁场影响；
4、周围无易燃、易爆、腐蚀性物质和粉尘；
5、周围留有足够的使用及维护空间；
6、环境温度：10℃～45℃；
7、环境湿度：≤80%RH。
1.5技术参数
柜子
尺寸
1080（长）*650（宽）*1870（高）
重量
约270kg
内置恒温箱体
ABS工程塑料
设备外壳
A3钢板+喷塑
观察窗
内嵌式高透明防爆钢化玻璃
电源
设备电源
三相AC380V、50Hz
预装总功率
3.5kW
源瓶
温度采集
铂电阻（PT100）
控温范围
70℃-90℃
温度波动度
≤0.3℃
控温方式
PID控制
加热方式
PTC加热器
加热恒温时间
45min
液位采集
光纤传感器
液位点
高、低液位
源瓶个数
6个
源瓶容量
1.5-5L
水质检测指标
电导率
换水时间
正常情况约10分钟/次
换水方式
自动/手动
1.6应用配置
二、二次配安装
2.1电源：三相交流380V、50Hz、约3.5KW；
2.2空压气：6-8公斤压力；
2.3氮气：2-3公斤压力；
2.4超纯水进水管：4/1铁氟龙管；
2.5蓄水池排水管：内径8MM软管；
2.6信号对接。
