实力源多弧+中频磁控溅射镀膜机:内腔直径1680*高度1200，主抽配置3台400中科仪分子泵+1台翠曼600罗次泵+2台70南光机械泵，辅抽配置一台翠曼300罗次泵+1台70南光机械泵，配置10个佳宁250A弧电源，单边装有5个弧靶，对边预留5个弧靶位，，配置4对中频圆柱溅射靶，可装10对，配置30KW众鑫达中频电源和30Kw偏压电源，配置4路美国AE流量计，炉内配加热器，可达300℃，下转架28杆，杆距160mm全自动控制系统电柜
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