东莞芳汇鑫科技技术有限公司
晶圆撕膜机WKM手动版规格书
一、产品概述
本机为自行研制的手动撕膜机(型号为 FHX 系列),尺寸分别为 6 寸、 8 寸、 12 寸等。东莞芳汇鑫科技技术有限公司
(可定制),晶圆、 LED 撕膜使用。本机主要特点:
主体部分为不锈钢、铝合金制作,质量可靠,性能稳定;
可把 3”~12” 晶片在反研磨或蚀刻工艺贴膜去除。
操作简单,易懂易会;
本机外表美观、坚固可靠、性能优越、价格实惠,能为广大客户大大提高生产效率。晶圆撕膜机FHX手动版规格书LED 撕膜使用
1- 工作台盘
2/3/4-12 寸 /8 寸 /6 寸真空开关 : 按下吸附台盘晶片使其牢固;按下开关,开关上红灯长亮,此时真空功能开启。再按一次,开关上红灯熄灭,真空功能关闭;
5- 温控器:打开此开关可把机器的台盘加热,按下开关,开关上绿灯长亮,此时加热功能开启。再按一次,开关上绿灯熄灭,加热功能关闭;
6- 离子风扇 : 去静电
7- 精密调压阀:***调节气压大小
8- AC 插头:接电插口
9- 电源开关:按下“○”关闭电源,按下“-”开启电源
10- 进气接口:接气接口
成品展示:
晶圆贴膜机结构,单晶圆贴膜机减薄,真空吸盘,稳固覆膜!
1.适用于蓝膜、UV膜、PET衬底膜和双层膜。
2.可选配的能应用于超薄晶圆的的微孔贴膜台盘。
3.加热的且带弹力的贴膜台盘设计可自适应不同厚度的晶圆。
4.***的贴膜滚轮压力可调设计。
5.配备圆周刀和横切刀。
6.可选配的离子风棒静电去除装置。
7.体积小,桌面摆放型。
手动贴膜机型号WM6适用于6"晶圆 WM8适用于8"晶圆 WM12适用于12"晶圆
会省膜手动贴膜机:
特别设计的省膜结构,让手动贴膜机系列贴膜机成为高省膜的手动贴膜机,比普通手动贴膜机可节约15%左右,大大降低了客户的贴膜***;在目前或将来使用昂贵的UV膜时,***节省的效果会更***。
适用于超薄晶圆的微孔贴膜台盘(选配): 微孔设计的贴膜台盘加上***的气路设计和弹力支持结构,可适用于***100um厚度的晶圆、玻璃或陶瓷;此结构和配有空气柔性弹力,且弹力可调的滚轮装置可限度地减少在贴膜时对超薄晶圆的破坏,很大限度地降低破片机率。
![晶圆剥膜机-Wafer表面胶膜剥膜设备,FHX系列](http://pic.bestb2b.com/2e9d7e5f3dadbc00efef92ad387f8056.jpg)