等离子去胶机

PTL-VRK1000是一款高性价比的干法去胶设备，可用于尺寸6英寸及以下样品表面的活化和清洁处理，等离子去胶的工作原理是将爱有光刻胶的外延片/品圆放置于真空反应系统中，通入少量氧气，利用电压放电，把氧气(02)电离成激发态的氢原子(0)，然后氧原子和抗饨剂中的C和H快速反应，生成CO、CO2和H20等挥发性气体，用真空泵抽走，以达到去胶的目的。等离子去胶不仅操作简单去胶效率高、去胶后晶國表面于净光洁而且无划痕、成本低、环保，有利于确保产品的质量。