碳化硅辊棒、传动棒，杆，悬臂浆

碳化硅悬臂浆，碳化硅扩散桨，设计特点：1、在高温环境下不变形，晶片装载力大；2、耐极冷急热，使用寿命长；3、悬臂浆热膨胀系数极小，延长了维护清洗的周期；并大幅减少污染物。应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用，是半导体晶圆装载系统的关键部件。常规尺寸有2378毫米，2550毫米，2660毫米等。