XBZN-1000/600 智能机器人抛光系统
可以实现大口径平面、球面、非球面、离轴非球面和自由曲面等光学元件的确定性抛光加工，可加工光学元器件材料：涵盖石英、玻璃、ULE、单晶硅、碳化硅、蓝宝石、陶瓷等光学材料，以及铜、铝、镍等金属材质。
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技术参数 |
XBZN-1000 |
XBZN-600 |
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加工元件类型 |
平面/球面/非球面/自由曲面等 |
平面/球面/非球面/自由曲面等 |
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加工元件外形 |
圆形/椭圆/矩形/多边形/内开异形孔形等 |
圆形/椭圆/矩形/多边形/内开异形孔形等 |
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加工元件口径 |
50mm~1000mm |
50mm~600mm |
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元件厚度 |
≤500mm |
≤500mm |
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抛光头额定转速 |
300rpm |
300rpm |
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工作台直径 |
1100mm |
700mm |
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压力设置范围 |
0~125N |
0~125N |
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压力设置分辨率 |
±0.4N |
±0.4N |
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加工精度 |
平面RMS≤7nm/非球面RMS≤10nm |
平面RMS≤7nm/非球RMS≤10nm |
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抛光表面粗糙度 |
Ra≤1nm |
Ra≤1nm |
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表面光洁度 |
优于I级 |
优于II级 |
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位姿重复精度(ISO 9283) |
±0.05mm |
±0.03mm |
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机械臂负载能力 |
45Kg |
20Kg |
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外形尺寸 |
2800mm×1200mm×2500mm |
1600mm×1000mm×2200mm |
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机床重量(约) |
3.2T |
1.2T |
