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NNE-PE150F工业型大腔体真空等离子清洗机

  • 发布时间:2023-11-15 18:03:19
    报价:20000/套
    地址:广东,深圳,深圳市龙华区大浪街道新石社区华宁路38号港深创新园
    公司:深圳纳恩科技有限公司
    手机:17302676848
    微信:WJ17304403275
    用户等级:普通会员已认证

    NE-PE150F是一款大型工业用真空等离子处理系统,设备配备大功率、大腔体、密度大、高稳定性,适用于大规模连续生产。设备采用进口品牌高性能真空泵快速产生超低的真空压强。同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。

    v 抽真空系统包含真空泵、真空测量仪、真空管道等。

    v 真空泵抽真空时间≤60S,真空度可达20PA以内。

    v 工作真空度:20-30Pa,可自动进行压力控制。

    v 破真空时间:≤30s。

    v 真空探测仪采用电阻式皮拉尼真空计,使用寿命长,探测精准。

    v 真空管道采用316不锈钢材质稳定可靠。

    设备优势

    ü 腔体采用进口铝合金材质,无金属污染;

    ü 通过COMSOL专业仿真模拟测试,结合多次验证结果,得到最优腔体结构设计,保证清洗效果和均匀性;

    ü 每层极板配备托盘,有效避免离子溅射,保证处理可靠性;

    ü CCP放电模式,全自动匹配RF射频电源;

    ü 独特的腔体进气系统,进气均匀,保证电离效果均匀性;

    ü 出厂前氦气检漏仪捡漏,保证腔体密封性;

    ü 进气、抽气、破真空全独立系统,且破真空系统可接氮气,确保腔体气体清洁性;

    ü 真空泵出口加装排气装置、过滤器。

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