刻蚀机是一种用于微纳加工的技术设备，主要用于在材料表面去除特定部分，以形成所需的微纳结构。 刻蚀机通过物理撞击或化学反应的方式，精确地控制和调整材料的去除，是实现微电子、光电子等领域中微纳结构制造的关键设备之一。根据工作原理和使用的技术不同，刻蚀机可以分为多种类型，包括干法刻蚀机和湿法刻蚀机。
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