产品参数
本设备是采用真空镀膜法，在被镀工件表面生成铝薄膜和SiOx保护膜的分批式真空镀膜设备。主要由真空室、真空排气系统、工件转动机构、AL蒸发源、充气系统、电控系统等构成。具有技术成熟、操作简便、成膜速度快、效率高、能镀制复杂形状的工件等特点。
适用
灯具、装饰材料、汽车反射板等领域。
特性
真空排气、离子清洗、镀AL膜和保护膜、放气等一系列T序都可以自动运行。
2个门都带有6轴(也可选8轴)自公转夹具及蒸发电极。在一个门进行处理的同时，在另外一个门内可同时进行装卸工件以及蛋装AL材料等作业，因此生产性能上乘。
铝的蒸镀采用电阻加热蒸发进行，蒸镀中可以选择充气进行，对被镀工件形状是复杂的3次元结构，也能均匀成膜。
另还可以选购等离子重合装置，用等离于重合法生成SiOx外保护膜