四川成都GTDJ半导体设备专用直线电机

直线电机，作为一种将电能直接转换成直线运动机械能的电力传动装置，因其省去大量中间传动机构、加快系统反映速度和提高系统精确度的特性，已经在众多领域得到广泛应用。特别是在半导体行业，直线电机的作用不可小觑。

半导体行业是一个对精度和速度要求极高的领域。在生产过程中，晶圆制造、化学机械抛光、芯片测量等关键环节，都需要高精度的运动控制和快速响应。直线电机由于其独特的工作原理和结构特点，恰好能满足这些需求。

首先，在晶圆制造过程中，直线电机的应用体现在晶圆划切的角度调整上。通过使用有框力矩电机的定制化解决方案，可以实现晶圆划切过程中的精确角度调整。这种解决方案采用无铁芯直线电机，无齿槽效应，保证了低速运动时的高稳定性，从而提高了晶圆制造的精度和效率。

其次，在晶圆化学机械抛光工艺中，直线电机同样发挥着关键作用。由于该工艺需要在有压力的情况下保持一定转速运动，对电机的运动稳定性要求极高。直线电机通过实现瞬时高加速度的运动，保证了在外力介入的情况下，晶圆研磨效果的稳定，降低了废片率。

此外，在芯片测量环节，直线电机也发挥着不可或缺的作用。芯片制造过程中需要不断沉积各类薄膜，而薄膜的厚度、反射率、均匀性对晶圆成像处理的结果产生关键性影响。通过使用直线电机进行精确的测量，可以确保芯片制造过程中的每一环节都达到预定的质量标准。

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