晶圆抛光液KND-LP30是一种水溶性抛光剂，主要由磨料、PH值调节剂、氧化剂、分散剂和表面活性剂等多种化学成分组成。这些成分在抛光过程中共同作用于晶圆表面，实现研磨、腐蚀溶解等效果，从而达到抛光的目的。
晶圆抛光液KND-LP30的工作原理
晶圆抛光液在CMP工艺中起到关键作用。它通过与晶圆表面产生化学反应，形成一层结合力弱的氧化膜，有利于后续机械去除。在氧化剂的氧化腐蚀与磨料研磨的共同作用下，晶圆表面可达到高质量全局平坦化效果。
晶圆抛光液KND-LP30的优点
抛光效果好：能够去除金属表面的粗糙部分，提高表面光洁度，使金属表面呈现自然光泽。
防腐蚀性强：在金属表面形成一层具有保护作用的金属氧化物层，大大减少了金属的腐蚀情况。
增加耐磨性：使金属表面变得更加光滑，从而提高金属表面的耐磨性和润滑能力。