U-III表面颗粒计数器搭载HeNe激光传感器,分辨率达0.1微米,支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计(0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm),覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。
静态采样模式:通过优化气流控制,减少测量误差,提升数据稳定性。
智能化设计与操作体验
7英寸高分辨率触控屏:支持实时数据可视化与交互操作,简化流程。
双电池热插拔系统:支持连续生产场景下的不间断作业,电池更换无需停机。
USB数据接口与软件升级:便捷导出检测报告,并可通过固件更新持续优化性能。
行业应用与效益
提升制造效率
减少50%自净时间:通过量化表面污染数据,缩短设备维护周期(PM周期),提升产线吞吐量。
延长MTBC(平均无故障周期):结合颗粒控制策略,关键设备可靠性提升4倍以上。
覆盖高洁净场景
半导体制造:晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。
精密光学与电子:液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制。
符合国际标准
产品严格遵循ISO-14644-9表面粒子控制规范,为全球半导体厂商提供标准化检测工具。

