UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子计数器:突破0.1微米检测极限,重新定义半导体洁净度标准。
2025年3月6日——全球领先的光电技术企业UK MICRON OPTOELECTRONICS正式发布全新升级的U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计,采用革命性激光传感技术与智能采样系统,可精准检测0.1微米级表面颗粒污染,助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。
该系列设备通过量化表面污染数据,为半导体制造中的过程控制提供标准化依据,从而优化生产良率和产品可靠性。
传感器:第七代双激光窄光检测器,寿命>200000次
测量粒径:A 0.3um、2.5um、10um;
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒径分布误差:≤±30%
浓度示值误差:≤±30%
重复相对偏差:≤±10%FS
重叠误差:当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%
气体检测:可同时检测气体浓度,支持1-3个各种类型的气体传感器
温度范围:-40 ~ 120℃
检定标准:计数报告符合GB/T及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
气泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可选);
采样时间:3、6、9、12、15、30、60秒(可选);
检测模式:数量模式;质量模式; 净效模式;三种检测模式可切换
检测方式:定时检测、循环检测可设置
报警方式:自定义数量报警值、质量报警值
限值报警:RS485信号报警或外接声光报警器
法 规 性:权限管控、审计追踪、电子记录等
